开放平台-新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室

开放平台

1.分析仪器

显微结构分析：

氦离子显微镜Orion	场发射扫描电子显微镜Merlin
聚焦离子/电子双束显微镜FIB-340	扫描探针显微镜Cypher-ES
三维扫描测振仪
离子溅射/蒸碳镀膜仪	多功能氩离子刻蚀/镀膜仪
多功能离子减薄仪	等离子清洗仪
切/磨/抛一体机	数字光学显微镜

X射线衍射：

X射线衍射仪D8

X射线衍射仪SHIMADZU

高温X射线SMARTLAB

电/磁测试：

矢量网络分析仪	精密阻抗分析仪系列	宽频介电阻抗谱仪	铁电分析仪
多样品温谱频谱测试系统	压电材料多场测试系统	高阻电输运测试系统	阻抗分析仪与精密LCR表
功率器件图示分析仪	软磁材料B-H分析仪	精密器件图示分析仪	S参数网络分析仪
半导体特性分析系统	微波暗室(含矢网分析仪与转台)	介电频谱温谱分析系统	综合物性测试系统PPMS

光谱测试：

高分辨拉曼光谱仪	稳态瞬态荧光光谱仪	椭偏仪
傅里叶变换红外光谱仪IS50	紫外/可见/分光光度计	射频辉光放电光谱仪GD-OES
太赫兹时域光谱仪(透射/超低温)	全光纤太赫兹时域光谱仪(反射/偏振)	光电子光谱仪AC-2

热物性能测试：

高温综合热分析TG-DTA/TG-DSC/DIL	闪射法导热仪	光学高温综合热分析
高温热机械分析仪TMA	热常数分析仪

粉体性能表征:

沉降粒度仪	Zeta电位仪（美国）	Zeta电位仪（英国）	BET比表面分析仪
真密度仪	激光粒度仪	压汞仪

力学性能测试：

维氏硬度计	切割机
抛光研磨一体机	镶样机
冲击试验机
台阶仪	高温力学试验机（静态）
高温力学试验机（动态）	显微硬度计

2.制备设备

高温烧结：

多功能高温烧结炉（日本）	多功能高温烧结炉（德国FCT）	放电等离子真空烧结炉(2001)
放电等离子真空烧结炉SPS(2017)	高真空烧结炉	氧气氛热压烧结炉
钟罩式高温炉	热等静压烧结炉	多场高温烧结炉

陶瓷机加工：

微型高压水切割机（水刀）	金刚石砂轮平面磨床
金刚石锯片试条切割机	精雕机
内圆切割机	外圆磨床
冷等静压机

微纳制备：

激光直写无掩模光刻机	磁控溅射仪
材料喷墨打印机	高效共振混合机
划片机	键合机
多功能氩离子刻蚀/镀膜仪	离子减薄仪
聚焦离子束	氦离子显微镜Orion

电子元件制备：

超薄流延

印刷

叠层等实验机