型 号：
英国 Microwriter ML3
Modle：ML3
技术指标：
Specification:
激光光源：385nm，功率≤1W；
直写分辨率与加工速度：25mm2/min @0.6μm，50mm2/min @1μm，100mm2/min @2 μm，180mm2/min @5μm；
样品尺寸：≤230*230*15mm；
加工区域：≤150*150*10mm；
套刻精度：0.5 μm；
灰度直写阶数：255级，3D图案直写功能
Laser: 385nm, power≤1W;
Direct writing resolution and processing speed: 25mm2/min @0.6 μ m, 50mm2/min @1 μ m, 100mm2/min @2 μ m, 180mm2/min @5 μ m;
Sample size: < 230 * 230 * 15mm;
Processing area: < 150 * 150 * 10 mm;
Precision of engraving: 0.5 μ m;
Gray direct writing order: 255, 3D pattern direct writing function
主要功能：
Function:
激光束直接实现对光刻胶的曝光成型，不需要掩膜板。更灵活方式实现微纳结构或器件的加工及成型
The lithography of photoresist can be realized directly by laser beam without mask. A simpler way to realize the processing and shaping of micro / nano structures or devices
购置时间：
2018年
Purchase:2018
放置地点：
清华大学逸夫技术科学楼B431室
Location:B431
联系电话：
62772554
Tel:62772554
