1.型号：Crossbeam 340

2.主要技术指标：分辨率1.0nm&15kv;1.9nm&1kv(SEM);加速电压：0.02kv-30kv(SEM);电子束流：5 pA-20nA;分辨率3nm&30kv(FIB);离子束流：1pA-100nA;探测器：二次电子探测器。

3.主要功能：截面分析、微纳加工、透射样品制备、三维重构

4. 购置时间：2018年

5. 放置地点：逸夫技术科学楼B113