技术指标：

Specification:

波长范围：250nm~2100nm；

测量范围：Psi= 0°- 90°，Delta= 0°- 360°，无死区；

光斑最小直径：100um。

样品要求：≤8英寸，抛光的块体、薄膜等；

膜厚测试范围：0.5nm-90um

Wavelength range: 250nm ~ 2100nm;

Measurement range: psi = 0 ° - 90 °, delta = 0 ° - 360 °e;

The minimum diameter of light spot: 100um.

Sample requirements:≤8 inches, polished block, film, etc;

Film thickness measurement range:0.5nm-90um

主要功能：

Function:

光学常数：折射率(n)、消光系数(k)）、带隙宽度；界面厚度、膜层厚度、氧化层厚度测试分析；材料特性：粗糙界面分析、合金组分、结晶度、孔隙率、各向趋向等

Optical constants: refractive index (n), extinction coefficient (k)), band gap width; interface thickness, film thickness, oxide thickness test and analysis;

material properties: rough interface analysis, alloy composition, crystallinity, porosity, anisotropy, etc

购置时间：

2017年

Purchase:2017

放置地点：

清华大学逸夫技术科学楼B114室

Location:B114

联系电话：

62772554

Tel:62772554