型号：法国HJY.PROFILER2

主要技术参数：

• 溅射速率：1-5um/min

• 深度分辨率：≥1nm

• 输入功率：20-150W

• 采样范围：φ2/4/7mm

• 可测元素：47+1种

• 定量分析精度：≤0.01%（wt）

功能：

• 陶瓷、金属、薄膜、电极等材料组成元素定性、定量超快速分析；

• 同时获取元素及深度信息；

• 可对C、H、O、N进行定量分析；

购置时间：2018年4月

放置地点：清华大学逸夫技术科学楼2212室

联系电话：62772554