场发射扫描电子显微镜Field Emission Scanning Electron Microscope
型号：MerlinModel: Merlin主要技术指标Specifications分辨率：0.8nm@15kV;1.4nm@1kV加速电压：0.02-30kV电子束流：10pA-40nA探测器：二次电子探测器、背散射电子探测器、能谱探测器、背散射衍射探测器Resolution:0.8nm@15kV;1.4nm@1kVAcceleration Voltage: 0.02-30kVProbe Current: 10pA-40nADetectors:SE detectors, BSD detector, EDS detector, EBSD detector.主要功能Function：可实现对各类材料的微区结构的观察和分析;...等离子清洗
型 号：FISCHIONE公司，1070技术指标： 等离子气体的能量<12eVAr,N2,H2, O2,四组分通道样品室直径>8cm，样品室高度>5cm无油真空系统，真空度≤10－6torr主要功能： 采用低能高频等离子清洗透射电镜、扫描电镜样品。不会改变样品元素成份和表面结构特征。提高样品在低电压下的成像能力，提高化学微量分析精度。购置时间：2017年放置地点：清华大学逸夫技术科学楼2115室多功能氩离子刻蚀/镀膜仪
1.型号：Gatan PECS II 6852.主要技术指标：抛光角度:±10°；离子束能量：100eV-8.0eV ;样品大小：最大直径32mm、最大高度15mm3.主要功能：具有平面抛光、截面抛光及溅射镀膜功能，EBSD样品制备4.购置时间：5.放置地点：逸夫技术科学楼B11聚焦离子束FIB-340
1.型号：Crossbeam 3402.主要技术指标：分辨率1.0nm&15kv;1.9nm&1kv(SEM);加速电压：0.02kv-30kv(SEM);电子束流：5 pA-20nA;分辨率3nm&30kv(FIB);离子束流：1pA-100nA;探测器：二次电子探测器。3.主要功能：截面分析、微纳加工、透射样品制备、三维重构4. 购置时间：2018年5. 放置地点：逸夫技术科学楼B11离子减薄仪
型 号：美国GATAN公司，691技术指标： 真空度﹤5×10-4Pa高压0.1-6keV可调5keV时最大电流正常具有CCD图像传感器主要功能： 主要用于制备TEM样品。将切割、手动研磨并高精度凹坑研磨后，得到的厚度小于5μm、直径为3mm的圆片，再离子减薄至厚度为0.1μm购置时间：2011年放置地点：清华大学逸夫技术科学楼2210室联系电话：6277319扫描离子显微镜Scanning ion microscope
型号：Orion NanoFabModel: Orion NanoFab主要技术指标：Specifications：氦离子束分辨率：0.5 nm光束能量：10-30kV光束束流：0.1-100pA探测器二次电子探测器Helium Ion BeamResolution: 0.5 nmBeam energy: 10-30kVBeam current: 0.1-100pADetectorET secondary electron detector主要功能：Function：可实现高效、高精度的亚10纳米级结构加工；可用于观察半导体电路分析、光刻、石墨烯等敏感材料、页岩等岩石样品、氮化硅、有...切/磨/抛体机
1.型号：Leica EM TXP2.主要技术指标：工具前进步进100μm，10μm，1μm及0.5μm可选，显示进程，并具有快进和撤回功能；工具轴承转速：300-20000rpm可调3.主要功能：实现铣削、切割、研磨、抛光、冲钻，样品无需转移，只需更换工具4.购置时间：5.放置地点：逸夫技术科学楼B11三维视频显微镜
型 号：日本HIROX，KH-1000技术指标： 0～20倍，20~100连续变焦，200倍~4000倍连续变焦；14mm超大工作距离，0.2~0.0024mm超大光学景深；图像分辨率0.3微米。有效90万像素，160倍内窥探头主要功能： 观察金属、陶瓷断面及液态表面，观察液体内部及管道内壁购置时间：2005年放置地点：清华大学逸夫技术科学楼2212室联系电话：6277255扫描电子显微镜
型 号：日本岛津公司（SHIMADZU），SSX-550技术指标： 放大倍数范围：40×--200,000× ；加速电压：1-30kV二次电子像点分辨率5nm；背散射电子像分辨率：2.5μm附件：1.背散射电子探测器；背散射电子像分辨率：2.5μm2.能谱分析系统；能量分辨率136eV，分析元素B5- U92号，元素定性、定量分析，特定元素及线/面扫描分析。3.离子溅射镀金：KYKY SBC-2主要功能： 用于材料微观结构的研究，可进行形貌观察及元素分析购置时间：2007年...环境控制快速扫描原子力显微镜Environmental-control Fast Scan Atomic Force Microscope
型号：Cypher ESModel: Cypher ES主要技术指标Specifications噪音：X,Y轴闭环噪音<60pm, Z轴闭环噪音<50pm，X,Y轴开环噪音<10pm, Z轴开环噪音<5pm；变温范围：室温-250℃；线扫描速度最高可不低于40Hz；扫描模式：轻敲模式、接触模式、磁力显微镜、压电力显微镜、表面凯尔文探针显微镜、力曲线模式、纳米操纵、纳米刻蚀、双频共振追踪（DART），导电力显微镜Noisy:XY closed loop noisy<60pm，Z closed loop Noisy <50pm, XY o...
