技术指标：

放大倍数范围：40×--200,000× ；

加速电压：1-30kV

二次电子像点分辨率5nm；背散射电子像分辨率：2.5μm

附件：

1.背散射电子探测器；

背散射电子像分辨率：2.5μm

2.能谱分析系统；

能量分辨率136eV，分析元素B5- U92号，元素定性、定量分析，特定元素及线/面扫描分析。

3.离子溅射镀金：KYKY SBC-2

主要功能：

用于材料微观结构的研究，可进行形貌观察及元素分析

购置时间：

2007年

放置地点：

清华大学逸夫技术科学楼2212室

联系电话：

62772554