技术指标：

等离子气体的能量<12eV

Ar,N2,H2, O2,四组分通道

样品室直径>8cm，样品室高度>5cm

无油真空系统，真空度≤10^－6torr

主要功能：

采用低能高频等离子清洗透射电镜、扫描电镜样品。

不会改变样品元素成份和表面结构特征。提高样品在低电压下的成像能力，提高化学微量分析精度。

购置时间：

2017年

放置地点：

清华大学逸夫技术科学楼2115室