技术指标：

真空度﹤5×10^-4Pa

高压0.1-6keV可调

5keV时最大电流正常

具有CCD图像传感器

主要功能：

主要用于制备TEM样品。将切割、手动研磨并高精度凹坑研磨后，得到的厚度小于5μm、直径为3mm的圆片，再离子减薄至厚度为0.1μm

购置时间：

2011年

放置地点：

清华大学逸夫技术科学楼2210室

联系电话：

62773192