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多功能氩离子刻蚀/镀膜仪

2021-06-30

1.型号:Gatan PECS II 685

2.主要技术指标:抛光角度:±10°;离子束能量:100eV-8.0eV ;样品大小:最大直径32mm、最大高度15mm

3.主要功能:具有平面抛光、截面抛光及溅射镀膜功能,EBSD样品制备

4.购置时间:

5.放置地点:逸夫技术科学楼B113

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