技术指标：

(1) 最大样品尺寸：160mm

(2) X/Y切削范围：≤160mm，Y轴步进精度0.1um，Y轴定位精度：3um

(3) Z轴：行程≤32mm，步进精度50nm，重复精度1um

(4) θ轴旋转角度：≤320°

(5) 主轴: 1.5KW空气主轴，转速：3000-40000/min

(6) 刀片最大直径：58mm

(7) 切割道宽：40-120um

(8) 压缩空气压力0.2-0.4MPa，流量4L/mim

(9) 电压AC220±22V，总功率3.2kW；

主要功能：

用于硅片、陶瓷、玻璃基板等的精确切割。

购置时间：

2014年

放置地点：

清华大学逸夫技术科学楼2129室

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