法国HJY，UVISEL

波长范围：250nm~2100nm；

测量范围：Psi= 0°- 90°，Delta= 0°- 360°，无死区；

光斑最小直径：100um；

样品要求：≤8英寸，抛光的块体、薄膜等；

膜厚测试范围：0.5nm-90um

光学常数：折射率(n)、消光系数(k)）、带隙宽度；界面厚度、膜层厚度、氧化层厚度测试分析；材料特性：粗糙界面分析、合金组分、结晶度、孔隙率、各向趋向等。

2017年