德国莱卡，EM ACE600型

最优真空度：≤2×10-6 mbar

溅射电流：≤150mA

样品台直径：104mm

溅射模式：离子溅射模式、碳丝蒸发镀碳模式、碳棒（热阻）蒸发模式、电子束蒸发模式、双溅射模式、溅射-碳丝模式、溅射-碳棒模式、溅射-电子束模式、双电子束模式，可兼容EM VCT100冷冻传输系统。

根据FE-SEM和TEM的应用需求，通过碳丝蒸发、碳棒蒸发、电子束蒸发和辉光放电等方式，沉积细粒度和导电的金属和碳涂层，用于高分辨率分析。

2022年