离子刻蚀镀膜仪

仪器位置:清华大学逸夫技术科学楼B113室

管理人员:孙老师

联系方式:010-62772554

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仪器位置 清华大学逸夫技术科学楼B113室 管理人员 孙老师
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型号

美国GATAN公司,Gatan PECS II 685

技术指标

抛光角度:±10°

离子束能量:100eV-8.0eV

样品大小:最大直径32mm、最大高度15mm

主要功能

具有平面抛光、截面抛光及溅射镀膜功能,EBSD样品制备

购置时间

2011年

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