美国GATAN公司，G691

真空度< 5×10^-4Pa

高压0.1 - 6keV可调

5keV时最大电流正常

具有CCD图像传感器

主要用于制备TEM样品。将切割、手动研磨并高精度凹坑研磨后，得到的厚度小于5μm、直径为3mm的圆片，再离子减薄至厚度为0.1μm。

2011年