德国徕卡，Leica EM RES102型

离子束能量：0.8keV-10keV

离子束加工角度：0°~ 90°

样品台倾斜角度-120°~ 210°

样品平面摆动角度<360°，垂直摆动距离±5mm

可选样品台：TEM样品台、SEM样品台

对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。

2022年