1. 带有样品照明的光学显微镜，最大视觉放大倍率约为230倍
2. 三离子源能量范围：1-10kev
3. 标准样品台：
1）横切面：样品被掩膜屏蔽，可创建一个90°切口；
2）移动：横向移动距离10mm，垂直2mm，掩膜与样品之间的形成范围为6mm；
3）适用样品尺寸：最大50mm×50mm
4. 旋转样品台：
1）离子束抛光适用规格：最大直径为38mm，最大准备区域为25mm，最大高度12mm，横向移动距离±12.5mm，横向移动速度0.5-2mm/sec，入射角为0°-30°增量为1.5°，转速可选4rpm、6rpm、8rpm，振荡角为20°、45°、90°、180°、360°；
2）离子束切割：适用最大样品尺寸为4mm×7mm×10mm，横向移动距离±3mm，横向移动速度0.5-2mm/sec，最大入射角12°，转速可选4rpm、6rpm、8rpm，最高振荡角为45°。
5. M80体视镜全套配备IC90摄像头
