（1）透射(TEM/ HRTEM)模式
点分辨率：≤0.23nm@200KV
线分辨率：≤0.10nm@200KV，0.14nm@80KV
信息分辨率：≤0.11nm@200KV
放大倍数：×20-2,000,000
（2）扫描透射(STEM)模式
BF/HAADF分辨率：≤0.16nm（200kV） ≤0.31nm（80kV）
STEM模式放大倍率：×100-150,000,000
图像分辨率：4K×4K
（3）X射线能谱分析仪(EDS)
能量分辨率：≤133eV(Mn-Kα峰,50Kcps)
总计数率≥16Mcps
元素分析范围：B5-U92
峰背比(P/B Ratio): ≥4000:1(Ni K峰)
杂散峰与背底比值：＜1%
（4）旋进电子衍射(PED)
电子束旋进角范围：0-2.5°
平行光和纳米束模式：最小束斑≤2 nm
纳米晶体取向和晶向分布分析系统：旋进电子束最小扫描步长≤1 nm，空间分辨率≤2 nm；
纳米晶体应变分析：纳米应变空间分辨率≤3nm(FEG TEM)，应变分析精度<+0.02%；
电子衍射三维重构软件：对序列旋进电子衍射花样(样品倾斜范围士40°或更大，倾斜步长 1°)进行三维衍射空间重构，确定晶体的单胞参数(精度 2-3%)
（5）相机型号：Gatan Rio16
像素数：1600万(4096×4096)
