德国卡尔蔡司， Merlin

分辨率：0.8nm@15kV;1.4nm@1kV

加速电压：0.02-30kV

电子束流：10pA-40nA

配有二次电子探测器、背散射电子探测器、能谱探测器、背散射衍射探测器，可实现对各类材料的微区结构的观察和分析;广泛应用于各种材料，例如陶瓷、金属、不导电材料、半导体器件、生物样品、磁性样品等的高分辨观察。

2017年