德国卡尔蔡司，Crossbeam 340

分辨率：1.0nm & 15kv;1.9nm & 1kv (SEM)

加速电压：0.02kv - 30kv (SEM)

电子束流：5pA-20nA

分辨率:3nm & 30kv (FIB)

离子束流：1pA-100nA

探测器：二次电子探测器

截面分析、微纳加工、透射样品制备、三维重构。

2018年