德国polytec公司，MAS-100-3DSV-M

实时三维测振，带宽可到2.5Mhz；

面内面外振幅测试分辨率均＜1pm；

可进行全范围面扫描；

激光束直径＜4μm，可进行高面内分辨率的扫描；

自带多种信号发生器，可进行不同功能的测试；

振速测试范围：1mm/s~10m/s

可对磁盘、驱动器、电容器、压电材料及器件等进行三维振动分析及图像化分析，提供精确的动态响应数据。

2022年