德国卡尔蔡司，Orion NanoFab

氦离子束：分辨率：0.5 nm；光束能量：10-30kV；光束束流：0.1-100pA

探测器：二次电子探测器

可实现高效、高精度的亚10纳米级结构加工；

可用于观察半导体电路分析、光刻、石墨烯等敏感材料、页岩等岩石样品、氮化硅、有机光伏材料等。

2017年