美国赛默飞，ESCALAB XI

最佳能量分辨率：≤ 0.43 eV

灵敏度 ≥ 4Mcps （大束斑，光源功率不大于300W）

高灵敏度 XPS 可确定样品表面的元素成分、比例和化学价态。可做深度剖析 XPS，成像 XPS，角分辨 XPS。

配有单离子及团簇式离子双模式离子枪，可用于样品表面清洁和离子散射谱 ISS 测试。

配有同轴反射电子能量损失谱（REELS），可对氢元素进行定性定量分析。

2021年