德国蔡司，Xradia 610 Versa型

空间分辨率：≤0.5μm（40×物镜），0.9μm（20×物镜），当X射线源距样品旋转轴50mm时，最佳空间分辨率≤1.0μm

最小可实现的体素（最大放大倍率下样品的体素大小）≤40 nm（40×物镜）

样品台移动范围：X轴≥50mm；Y轴≥100mm；Z轴≥50mm

样品台可承受样品尺寸≥290 mm（X射线能穿透的情况下）

系统采用几何放大+光学物镜两级放大的架构，可对各类金属材料、复合材料、生物组织（动物组织、植物组织）、油气地质及半导体样品进行高分辨无损三维成像及组织表征

2021年