美国Bruker，Dektak XT

扫描速度：5μm/s-1500μm/s

扫描长度范围：55mm

最大样品厚度：50mm

台阶高度重现性：4Å，1σ在1μm台阶上（重复测30次）

垂直扫描范围：1000μm（0.039英寸）（分为四个量程）

垂直分辨率：最大1Å（6.55μm垂直范围下）16位AD转换

样品台行程：100X100mm（手动）；150X150mm（自动）

光学系统：彩色CCD，8倍数字变焦， 180x放大倍率

用于测试薄膜材料的厚度、元器件结构的台阶高度与深度以及材料表面的三维形貌，被广泛应用在材料科学及检测研究领域。同时，还能通过仪器控制软件表征材料表面应力、粗糙度、波纹度等信息，通过三维形貌可以表征分析材料表面的信息。

2022年