法国HJY，PROFILER2

溅射速率：1-5um/min

深度分辨率：≥1nm

输入功率：20-150W

采样范围：φ2/4/7mm

可测元素：47+1种

定量分析精度：≤0.01%（wt）

陶瓷、金属、薄膜、电极等材料组成元素定性、定量超快速分析；

同时获取元素及深度信息；

可对C、H、O、N进行定量分析。

2018年