英国 Microwriter公司，ML3

激光光源：385nm，功率≤1W；

直写分辨率与加工速度：

25mm2/min @0.6μm，

50mm2/min @1μm，

100mm2/min @2 μm，

180mm2/min @5μm；

样品尺寸：≤230*230*15mm；

加工区域：≤150*150*10mm；

套刻精度：0.5 μm；

灰度直写阶数：255级，3D图案直写功能

激光束直接实现对光刻胶的曝光成型，不需要掩膜板。更灵活方式实现微纳结构或器件的加工及成型。

2021年