日本disco公司，DAD323

最大样品尺寸：160mm

X/Y切削范围：≤160mm，Y轴步进精度0.1um，Y轴定位精度：3um

Z轴：行程≤32mm，步进精度50nm，重复精度1um

θ轴旋转角度：≤320°

主轴: 1.5KW空气主轴，转速：3000-40000/min

刀片最大直径：58mm

切割道宽：40-120um

压缩空气压力0.2-0.4MPa，流量4L/mim

电压AC220±22V，总功率3.2kW

用于硅片、陶瓷、玻璃基板等的精确切割

2014年