北京泰科诺科技，TEMDS500型

基片台尺寸：120 mm×120 mm（带水冷）

基片台烘烤温度：RT～300℃

配有10kW 电子枪，6穴坩埚；两组1500 W 金属蒸发源

蒸镀低熔点金属、难熔金属、非金属氧化物及合金等材料，用于制备光电薄膜、半导体器件薄膜、铁电薄膜等；配双探头膜厚仪。

2022年