新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室公共平台新购置的LSM 900型激光共聚焦显微镜和TEMDS500型高真空电子束蒸发镀膜机已安装调试完毕，现开放试运行，欢迎大家预约测试。

激光共聚焦显微镜

关键指标：

横向分辨率：120nm，轴向分辨率：10nm；最大采样频率为6144x6144

光源：氙灯，卤素灯，LED灯，405nm、488nm、561nm、640nm固态激光器

物镜：5X，10X，20X，40X，50X

主要功能：

可对材料进行精确的三维形貌分析与成像，以及特异性荧光特性分析与成像。

观察模式：反射光明场、暗场、多色荧光及透射光明场等

安置地点及联系人：

清华大学逸夫技术科学楼B212，010-62787647转，刘老师

高真空电子束蒸发镀膜机

关键指标：

基片台尺寸：120 mm×120 mm（带水冷）；基片台烘烤温度：RT～300℃

配有10kW电子枪，6穴坩埚；两组1500W金属蒸发源。

主要功能：

蒸镀低熔点金属、难熔金属、非金属氧化物及合金等材料，用于制备光电薄膜、半导体器件薄膜、铁电薄膜等；配双探头膜厚仪。

安置地点及联系人：

清华大学逸夫技术科学楼B120，010-62782254转，梁老师